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磁控溅射镀膜仪
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英文名称： Single room magnetron sputtering system
规格型号： JGP-450
单价： 面议
产地： 沈阳
厂商： 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
价值： 41.8万元
所在地： 辽宁 锦州市 古塔区
购置日期： 2015-07-09 09:25
使用状态： 在用
有效期至： 长期有效
浏览次数： 3943
询价
公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
 主要测试和应用领域：太阳能电池、光电薄膜材料制备
主要技术指标：极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；

系统真空检漏漏率：≤5.010-7 Pa.l/S；

系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；

停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；
 
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