主要测试与应用领域：硅片

主要技术指标：1、供电：电压400Vac ±10 %；频率   50-60 Hz；3相4线，具有接地保护；尽量购买 UPS 以保护设备；

2，压缩空气：外管径6mm或1/4inch，0.55MPa；

3，操作温度：建议20～25°C，要求温度变化<2°C/小时；

4，相对湿度： 20% 到50%；

5，防震：VC-A (50µm/s)；

6，洁净度：100级或更好。