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功能及用途：
各种固态样品表面形貌的二次电子、背散射电子像观察及图像处理
主要技术指标：
主要技术指标：
1.分辨率：1.0 nm（15 kv）；2.0 nm（1 kv）；1.4 nm（1 kv）电子减速功能加速电压
2.加速电压：0.5~30 kv
3.放大倍数：×20~×800,000
4.束流强度：1 pA~2 nA
5.物镜光栏：加热自清洁式、四孔、可移动物镜光栏
6.样品室和样品台：
移动范围：X：0~50 mm；Y：0~50 mm；Z：1.5~30 mm；T：-5~70 º；R：360 º
最大样品尺寸：100 mm
7.电子图像移动：±12 µm（WD=8 mm）
